威思曼的EC系列軟件驅(qū)動的靜電吸盤電源提供一系列功能，可滿足各種要求苛刻的應(yīng)用。該儀器采用了 威思曼放大器技術(shù)，該技術(shù)已證明可提高效率和吞吐量，相當于其他電源的三倍。 減少背面氣體錯誤、提高吞吐量并消除晶圓粘滯/爆裂問題；控制參數(shù)，例如過電流、存在晶圓和晶圓鉗位閾值、鉗位電壓、偏移電壓和內(nèi)部或外部振幅/偏移控制；調(diào)整過程中的幅度/偏移和輸出控制的多功能性；使用后面板 I/O、串行計算機命令或前面板控制來控制輸出；配置自定義鉗位和去鉗位序列和波形。威思曼的EC的多功能值得信賴的性能允許在多種獨特的工具和流程中使用，無需為設(shè)施中的每個獨特工具或流程增加新的成本。

產(chǎn)品特點：

可鎖定的前面板控制界面

每個單元均提供可溯源校準證書

支持 Coulombic 和 Johnsen-Rahbek ESC 技術(shù)

將靜電卡盤配置文件上傳并存儲到設(shè)備，并通過用戶友好的軟件界面存儲在內(nèi)部

晶圓檢測包括無晶圓、存在晶圓或晶圓夾緊狀態(tài)

應(yīng)用領(lǐng)域：

靜電驅(qū)動的材料處理

半導體晶圓加工

平板或其他對機械處理敏感的加工材料的非機械轉(zhuǎn)移

特性說明：

輸入：DC24V，2A

輸出:

輸出相位 

輸出電壓 A（參考相）：0 至 ±2 kV

輸出電壓 B（B 相 =[-1] x A 相）：0 至 ±2kV 

輸出電壓范圍：0 至 ±2 kV DC，最大值 

輸出電流：0 至 ±6.5 mA DC，峰值能力為 10 mA

電壓顯示：

比例：1V/ 200 V

B相直流：精度優(yōu)于滿量程的 0.5%

失調(diào)電壓:小于 10 毫伏

輸出噪音:低于 50 mV rms

電流顯示：

比例:1 V/100 uA

直流精度:±5 uA

輸出噪音:低于 50 mV rms*

運行條件：

溫度：0 至 35°C（32 至 104°F） 

相對濕度：至 85%，無冷凝

海拔高度：至 2000 米（6561.68 英尺）

尺寸：高 x 寬 x 深 44 x 431.8 x 531.9 毫米（3.47 x 17 x 20.9 英寸），1U 機箱

重量：3.86千克（8.5 磅）

直流輸入插座：2.0 毫米鎖定直流插孔；中心是正和外殼是負（插座配帶 Switchcraft S761K 插頭）

有接地插座 ，有接地螺栓 。

【可替換料號】: trek 645；trek 646；