威思曼高壓電源場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡應(yīng)用的OEM模塊EMA系列高壓電源為場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡高質(zhì)量圖像和高分辨率提供了保障，接受客戶定制。

        威思曼的EMA系列是一款集成的多輸出的高壓電源，專為驅(qū)動(dòng)掃描電子顯微鏡而設(shè)計(jì)，所有輸出均提供ppm級(jí)低輸出紋波， ppm級(jí)穩(wěn)定性， ppm級(jí)溫度系數(shù)，高精度和少微放電。威思曼在該應(yīng)用中研究15年，積累了豐富的知識(shí)使我們可以按照客戶的需求定制以滿足電子顯微鏡的苛刻要求。

      采用緊湊型解決方案，體積小。所有輸出均提供低輸出紋波，出色的穩(wěn)定性，溫度系數(shù)和精度。通過威思曼自有的高壓隔離技術(shù)提供相應(yīng)懸浮電源的隔離和控制。

      該集成EMA系列電源系統(tǒng)，客戶控制通過光纖接口完成。所有高壓安全聯(lián)鎖均采用基于故障安全硬件的設(shè)計(jì)，EMA系列電源通過CE認(rèn)證，符合適用的IEC，UL和SEMI標(biāo)準(zhǔn)。

典型應(yīng)用：

場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

電子束供電

產(chǎn)品規(guī)格

（參考PDF規(guī)格書）

產(chǎn)品特性：

輸入電壓：+ 24Vdc，±5％@最大5安培。 浪涌電流<6安培，持續(xù)1秒。

安全保險(xiǎn)絲：  5 x 20mm陶瓷保險(xiǎn)絲，內(nèi)部更換，并標(biāo)有保險(xiǎn)絲值。

漏電流： <200μA

電壓：相對(duì)于地，0V至-30kV滿載

電源開關(guān)：船型開關(guān)允許從前面板開啟和關(guān)閉裝置。

環(huán)境：

工作溫度：正常工作時(shí)環(huán)境溫度+ 10°C至+ 45°C。該裝置將在0°C下運(yùn)行，但需要延長(zhǎng)預(yù)熱時(shí)間。

 儲(chǔ)存溫度：-30°C至+ 70°C

濕度：10至90％RH，無冷凝

海拔高度：全功率2000米ASL。對(duì)于2000 米以上的海拔高度，最高環(huán)境工作溫度每300米間隔線性降低1.1°C。

機(jī)械：

該裝置配有一對(duì)可拆卸的安裝支架; 

該裝置可以任何方向操作。M5 x 23mm 保護(hù)接地螺柱安裝在HV連接器附近

尺寸：240mmX130mmX332mm

重量：10.2 kg (22.5 lb)

加速電源

輸出電壓：

-100V至-30kV，負(fù)極性。

可設(shè)定32.5kV的無負(fù)載電流的調(diào)節(jié)電壓。

在任何情況下輸出都不會(huì)大于35kV。輸出可以設(shè)置為OFF，禁用Beam Energy轉(zhuǎn)換器，在這種情況下輸出將<60伏。

輸出電流：

最大200μA，20kV至30kV

輸出電流保護(hù)范圍：

250μA±10％輸出禁用并鎖定，延遲約1秒。程序電壓設(shè)置為零。

精度（電壓給定）：

在控制范圍內(nèi)<1％或±10V（以較大者為準(zhǔn)）

電壓控制：

16位DAC，分辨率0.5V，滿量程= 32,768伏

線性度：

-20至-30kV <±25V

負(fù)載調(diào)整率：

對(duì)于30μA至200μA的負(fù)載變化，<±100mV

線路調(diào)整率：

從22.8V到26.4V線路變化<±10ppm

波紋：

HF<25mVp-p LF<50mVp-p @ 0uA至200uA，0.1Hz至20MHz

溫度系數(shù)：

從+10℃到+45℃<10ppm /℃，從+20℃到+30℃ <5ppm /℃

穩(wěn)定性：

在恒定操作條件下預(yù)熱1小時(shí)后<200mV / 15分鐘。

電壓顯示：

16位，分辨率0.5V。相對(duì)于實(shí)際輸出電壓的精度為±2％或±10V。

電流顯示：

12位，分辨率100nA，精度為±2％或±1μA。

擺動(dòng)幅度：

0％至100％調(diào)制，步長(zhǎng)為1％，其中100％定義為光束能量輸出的±5％，最小值為±50V。峰峰值是振幅的兩倍。

擺動(dòng)周期：

666至2000毫秒?？梢?毫秒的步長(zhǎng)調(diào)節(jié)。正弦輸出，每周期16點(diǎn)。擺動(dòng)始終在零交叉處開始和停止。

儲(chǔ)存能量：

<850mJ

燈絲電源：

連接：

燈絲的中心連接到Beam Energy輸出。輸出可以設(shè)置為關(guān)閉，禁用燈絲轉(zhuǎn)換器。

燈絲電壓：

標(biāo)稱值為1.8V，最大值為3V

燈絲電流：

控制范圍為0.5A至3A

負(fù)載電阻：

標(biāo)稱值為0.6Ω

準(zhǔn)確性：

2至3安培之間±5mA

電流控制：

12位DAC，分辨率1mA。滿量程= 4.096安培

線性度：

0.5A和3A之間±10mA

負(fù)載調(diào)整率：

在3A時(shí)，0.4Ω至1.0Ω的變化<5mA。（包括輸出線）

線路調(diào)整率：

電源電壓變化5％<1mA。

線性度：

0.5A和3A之間±10mA

波紋：

0.6mA @ 3.0A時(shí)，<1mAp-p，20Hz至10kHz，<30mV pp，約100kHz

溫度系數(shù)：

<25PPM /℃

穩(wěn)定性：

<2mA / 60分鐘。在恒定的操作條件下預(yù)熱一小時(shí)后。

電壓顯示：

12位，分辨率2.5V，滿量程= 10.24V。

相對(duì)于實(shí)際輸出電壓的精度：±5％或±25mV

電流顯示：

12位，分辨率+/- 1mA，滿量程= 4.096安培。

相對(duì)于實(shí)際輸出電流的精度為±10mA。

燈絲開路報(bào)警OC：

開路檢測(cè)，Vout> 5.2±0.1伏。將禁用所有輸出并將程序設(shè)置為零。

燈絲電流過流保護(hù)：

如果輸出電流大于3.15A十秒鐘，則檢測(cè)到過電流。將禁用所有輸出并將程序設(shè)置為零。

提取極電源

輸出電壓：

0V至10kV（相對(duì)于加速電壓為正）。

控制范圍+ 100V至+ 10kV。輸出可以設(shè)置為OFF，禁用提取器轉(zhuǎn)換器。

輸出電流：

控制范圍700μA。

編程過流電流值：

可編程0至735μA，分辨率0.25μA。精度±2％或2μA。應(yīng)禁用所有輸出并將程序設(shè)置為零

精度（電壓給定）：

在控制范圍內(nèi)<1％或±20V（以較大者為準(zhǔn)）

電壓控制：

12位DAC，分辨率2.5V，滿量程= 10.24kV

線性：

在控制范圍內(nèi)±20V

負(fù)載調(diào)整率：

<±1V（10μA - 700μA輸出電流變化）

<100mV @ 40μA0.1Hz 至20MHz

輸入調(diào)整率：

+/- 5％線路變化<±5ppm

波紋：

在10kV，700μA，0.1Hz-20MHz時(shí)<20mVp-p

溫度系數(shù)：

<25ppm/℃

穩(wěn)定性：

<0.05V / 15分鐘; 在恒定的操作條件下預(yù)熱一小時(shí)后

斜率：

10V / s至1000V / s

電壓顯示：

12位，分辨率2.5V，滿量程= 10.24kV。

相對(duì)于實(shí)際輸出電壓的精度：±1％或±20V

電流顯示：

12位，分辨率0.25uA，滿量程= 1.024mA。

相對(duì)于實(shí)際輸出電壓的精度：±2％或±2uA

保護(hù)：

連續(xù)/間歇的電弧到加速電源和大地。

儲(chǔ)存能量：

<150mJ

抑制極電源

電壓：

0V至1000V（相對(duì)于加速電壓為負(fù)）。

控制范圍100V至1000V。輸出可以設(shè)置為OFF，禁用提取器轉(zhuǎn)換器。

輸出電流：

控制范圍<200μA。

過流保護(hù)：

100μA±10％，延遲5秒，將禁用所有輸出并將程序設(shè)置為零。

精度（電壓給定）：

在控制范圍內(nèi)<2％或±6V（以較大者為準(zhǔn)）

電壓控制：

12位，分辨率0.25V，滿量程= 1024V

線性：

在控制范圍內(nèi)±5V

負(fù)載調(diào)整率：

對(duì)于10μA至100μA的負(fù)載電流變化，<120mV。

輸入調(diào)整率：

+/- 5％線路變化<±5ppm

波紋：

控制范圍<10mV pp，0.1Hz至20 MHz。

溫度系數(shù)：

<25PPM /℃

穩(wěn)定性：

<0.1V / 15分鐘; 在恒定的操作條件下預(yù)熱一小時(shí)后

電壓顯示：

12位，分辨率0.25V，滿量程= 1.000kV。

相對(duì)于實(shí)際輸出電壓的精度：±2％或±250mV

電流顯示：

12位，分辨率0.25uA，滿量程= 0.2mA。

實(shí)際輸出電流精度：±10％

保護(hù)：

連續(xù)/間歇弧到加速電源或提取極電源

儲(chǔ)存能量：

<2.5mJ