電子束高壓電源，

      EBL高壓電源為精密電子束高壓電源應(yīng)用而設(shè)計(jì)，如半導(dǎo)體納米光刻，微光學(xué)和開發(fā)掩模工作。它具有低紋波和出色的穩(wěn)定性規(guī)格，非常適合在這些要求苛刻的應(yīng)用中使用。提供可選擇的低輸出電流和高輸出電流范圍。

      電子束高壓電源采用固體封裝的高壓部分消除了任何用戶維護(hù)問(wèn)題，同時(shí)將組件與環(huán)境變量隔離開來(lái)。該裝置完全過(guò)載，電弧和短路保護(hù)。提供遠(yuǎn)程控制編程和監(jiān)視功能。允許對(duì)高壓輸出進(jìn)行精確的被動(dòng)測(cè)量。可選USB2.0，網(wǎng)口，RS-232，RS485數(shù)字化通訊，可根據(jù)用戶要求定制。

典型應(yīng)用：

電子束高壓電源

微光學(xué)

半導(dǎo)體光刻

半導(dǎo)體曝光機(jī)

掩模

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1.100kV半導(dǎo)體曝光機(jī)高壓電源，電子束高壓電源

2.低/高10μA/100μA輸出電流選擇

3.小于70mV的紋波

4.出色的調(diào)節(jié)和穩(wěn)定性能

5.無(wú)油/固體封裝設(shè)計(jì)

6.可選USB2.0，網(wǎng)口，RS-232，RS485數(shù)字化通訊

7.可根據(jù)用戶要求定制

電氣特性：

輸入電壓：

220Vac，±10％，單相50/60赫茲

輸出電壓：

0至100kV，負(fù)極性。外部開關(guān)可選擇105kV，±500伏

輸出電流：

0-10μA，低范圍

0-100μA，高范圍

開關(guān)可選

電壓調(diào)整率：

在指定輸入電壓范圍內(nèi)的額定電壓的±0.001％ 

負(fù)載調(diào)整率：

≤20V，電流變化為25μA至60μA和60μA至25μA

波紋：

峰峰值≤70mV

高壓微放電：

小于200mV

穩(wěn)定性：

在6小時(shí)預(yù)熱后，每8小時(shí)0.001％，溫度為20℃±0.2℃

溫度系數(shù)：

在10°C至40°C范圍內(nèi)每攝氏度25ppm

環(huán)境：

工作溫度：0到40攝氏度

儲(chǔ)存溫度：-40至85攝氏度

濕度：10至90％RH，無(wú)冷凝

冷卻：

對(duì)流冷卻 

前面板：

電源開/關(guān)開關(guān)

HV ON / OFF開關(guān) 

HV ON / OFF指示燈

模擬輸出電壓表

外形尺寸：

10.25HX 19 WX 27 D（26.7cm X 48.3cm X 55.9 cm）

重量：

116磅（50千克）

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      威思曼高壓電源有限公司是微型高壓電源模塊、高壓電源模塊、X光射線管高壓電源、機(jī)箱高壓電源、定制高壓電源、高壓附件等高壓電源產(chǎn)品的制造商，公司設(shè)計(jì)并制造定制和標(biāo)準(zhǔn)高壓電源產(chǎn)品，功率范圍從100mW到200kW，電壓范圍從60V到500kV。威思曼產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域覆蓋醫(yī)療、工業(yè)以及科研等領(lǐng)域。高壓電源您可以在威思曼一站式采購(gòu)多個(gè)品種規(guī)格。

　　威思曼高壓電源有限公司,公司擁有高壓電源研發(fā)團(tuán)隊(duì)，高壓電源研發(fā)軟件和測(cè)試軟件。高電壓絕緣技術(shù)，零電流諧振技術(shù)，使威思曼高壓電源保持高穩(wěn)定性、低紋波、低電磁干擾、體積小，損耗小，效率高，長(zhǎng)壽命。威思曼高壓電源價(jià)格有競(jìng)爭(zhēng)力，是OEM應(yīng)用的理想選擇。