產(chǎn)品介紹
ECA系列是用于靜電吸盤(pán)（E-Chuck，ESC）的高壓放大器。除了極性切換和強(qiáng)制接地外，該系列還提供晶圓監(jiān)控系統(tǒng)以滿足晶圓檢測(cè)需求。此外，憑借廣泛的電壓范圍，該系列可支持庫(kù)侖和 Johnsen-Rahbek 靜電吸盤(pán)。
典型應(yīng)用：
靜電驅(qū)動(dòng)的材料處理
半導(dǎo)體晶圓加工
平板或其他對(duì)機(jī)械處理敏感的加工材料的非機(jī)械轉(zhuǎn)移
特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)：
通過(guò)晶圓傳感器進(jìn)行可靠性?shī)A持/釋放狀態(tài)檢測(cè)
放大器架構(gòu)設(shè)計(jì)的快速響應(yīng)（“無(wú)繼電器極性反轉(zhuǎn)”設(shè)計(jì)的高可靠性和長(zhǎng)壽命。）
各種卡盤(pán)/釋放操作的“雙通道獨(dú)立控制（選項(xiàng)）”和“中心抽頭電壓設(shè)置（選項(xiàng)）”
配備LAN、USB、RS-232C數(shù)字接口
內(nèi)置低通射頻濾波器 (13.56 MHz)
輸出電壓設(shè)定特性：
波形示例：
可選CT
中心抽頭偏置
0至±[最大速率電壓-電壓設(shè)定值]
可選ET
以太網(wǎng)CAT接口
[即將推出]
可選DS
雙通道獨(dú)立控制
可選AC
AC 100V 至 240V 1 φ輸入
可選L7
輸出高壓電纜 7 米 x 3
（選擇 CT 或 DS 時(shí)為 2 個(gè)）
